schau dir mal meine Anleitung hier im DEB an bzgl Ubuntu LTS mit OSCam, etc.
Leere Datei „ssh“ ohne Dateiendung liegt im root der SD?
PermitRootLogin-Zeile abgeändert anstatt neu einzutragen?
Danach sudo reboot gemacht?
Vielleicht machst du nochmal die Schritte durch wie hier beschrieben und probierst nochmal: Ubuntu 20.04 LTS
Habe erst letzte Woche an einem Rechner genau so wieder gemacht ohne Probleme.
Ich habe das auch auf einem Raspberry 4; Bei mir liegt es daran dass das Image keine IP per dhcp bekommt. raspi-os ... bekommen auf der Hardware eine, irgendwas verhindert das. Ich habe dann eine Tastatur und einen Monitor angeschlossen und die IP fest gesetzt. Dann ging alles ...